0010-28715 | Chauffage à mandrin électrostatique (ESC) AMAT 300 mm

Description

L'AMAT 0010-28715 est un chauffage à mandrin électrostatique (ESC) conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est essentiel pour les processus nécessitant un contrôle précis de la température et un chauffage uniforme, garantissant des performances optimales lors des étapes de traitement des plaquettes telles que la gravure, le dépôt et la lithographie.

Caractéristiques

• Assure un chauffage précis et uniforme
• Capacité à haute température
• Conçu pour une longue durée de vie
• Convient aux processus de fabrication de semi-conducteurs

Spécifications techniques

• Type : Chauffage de mandrin électrostatique (ESC)
• Diamètre : 300 mm
• Matériau : Céramique de haute pureté
• Application : Fabrication de semi-conducteurs
• Fonction : Chauffe et régule la température ESC pendant le traitement des plaquettes