0010-59787 | ÉNORME | Chauffage en céramique

Description

AMAT 0010-59787 est un élément chauffant en céramique conçu par Applied Materials (AMAT) pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il fournit un chauffage précis dans la chambre de traitement pour les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).

Caractéristiques

• Contrôle précis de la température : permet d'obtenir un chauffage très précis et reproductible.
• Chauffage uniforme : assure une répartition constante de la température.
• Longue durée de vie : résiste aux conditions exigeantes de la fabrication de semi-conducteurs.
• Large compatibilité : fonctionne avec divers équipements et processus de traitement des semi-conducteurs.

Spécifications techniques

• Numéro d'article: 0010-59787
• Fabricant : Matériaux appliqués (AMAT)
• Type : Chauffage en céramique
• Compatibilité : convient aux équipements de traitement de plaquettes semi-conductrices de 300 mm
• Matériau : Céramique de haute pureté, assurant une excellente conductivité thermique et une résistance aux hautes températures
• Dimensions : 135 x 186 x 119 mm
• Poids : 1,2 kg