0010-27983 | AMAT PIB HTB2 MCA ESC-Heizung

Beschreibung

Der AMAT 0010-27983 ist ein 300-mm-MCA-E-CHUCK-ESC-Heizer, der für die Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Es spielt eine entscheidende Rolle bei der Waferverarbeitung, indem es die Temperatur des elektrostatischen Chucks (ESC) steuert und aufrechterhält und so eine präzise Erwärmung für eine gleichbleibende Waferqualität gewährleistet.

Merkmale

• Sorgt für eine präzise und gleichmäßige Erwärmung
• Hohe Temperaturbeständigkeit
• Ausgelegt für lange Lebensdauer
• Geeignet für Halbleiterfertigungsprozesse

Technische Spezifikationen

• Typ: 300 mm MCA E-CHUCK ESC-Heizung
• Abmessungen: 135 x 186 x 119 mm
• Gewicht: 1,2 kg
• Anwendung: Halbleiterfertigung
• Funktion: Erwärmt und reguliert die ESC-Temperatur während der Waferverarbeitung