0010-28715 | AMAT 300 mm elektrostatische Spannfutter-Heizung (ESC).
0010-28715 | AMAT 300 mm elektrostatische Spannfutter-Heizung (ESC).
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0010-28715 | AMAT 300 mm elektrostatische Spannfutter-Heizung (ESC).

  • Manufacturer: AMAT

  • Part Number: 0010-28715

  • Condition：New with Original Package

  • Product Type: Elektrostatische Chuck (ESC) Heizung

  • Country of Origin: USA

  • Payment:T/T, Western Union

  • Shipping port: Xiamen

  • Warranty: 12 months

Beschreibung

Der AMAT 0010-28715 ist eine elektrostatische Spannfutterheizung (ESC), die für die Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Es ist unerlässlich für Prozesse, die eine präzise Temperaturkontrolle und gleichmäßige Erwärmung erfordern und eine optimale Leistung bei Wafer-Verarbeitungsschritten wie Ätzen, Abscheiden und Lithografie gewährleisten.

Merkmale

  • Sorgt für eine präzise und gleichmäßige Erwärmung
  • Hohe Temperaturbeständigkeit
  • Ausgelegt für lange Lebensdauer
  • Geeignet für Halbleiterfertigungsprozesse

Technische Spezifikationen

  • Typ: Elektrostatische Spannfutter-Heizung (ESC).
  • Durchmesser: 300 mm
  • Material: Hochreine Keramik
  • Anwendung: Halbleiterfertigung
  • Funktion: Erwärmt und reguliert die ESC-Temperatur während der Waferverarbeitung

Hot Tags :

AMAT Electrostatic Chuck (ESC) Heater
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